レジストマスクの除去方法と除去装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：祢▲ぎ▼元邦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-232553
公開番号（公開出願番号）：特開2001-060541
特許番号：特許第4040803号
出願日： 1999年08月19日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】サンドブラスト処理後のレジストマスクが存在する物品上に粘着シート類を貼り付け、この粘着シート類を剥離して上記物品上からレジストマスクを剥離除去するにあたり、上記粘着シート類の剥離を、この粘着シート類を押圧剥離角度固定プレートを用いて物品上に押圧した状態および剥離角度を一定に保持した状態で行うようにしたことを特徴とするレジストマスクの除去方法。

IPC (3件)：