はんだ接合装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本啓三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-010423
公開番号（公開出願番号）：特開2002-210555
特許番号：特許第3404021号
出願日： 2001年01月18日
公開日（公表日）： 2002年07月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】大気に開放されてはんだ搭載物を通す開口を有し且つ加熱溶融領域と該加熱溶融領域に隣接する搬送領域とを有するチャンバと、前記加熱溶融領域内に前記はんだ搭載物を搬送する搬送機構と、前記加熱溶融領域内に蟻酸を供給する蟻酸供給手段と、前記加熱溶融領域又はその近傍でガスを排気して前記加熱溶融領域内の圧力を大気よりも低くする排気機構と、前記加熱溶融領域内において前記はんだ搭載物を直接又は間接に加熱する加熱手段と、前記加熱溶融領域と前記搬送領域の間のガスの流れを妨げる不活性ガスによるエアカーテンとを有することを特徴とするはんだ接合装置。

IPC (6件)：

B23K 1/008 , B23K 1/20 , B23K 31/02 310 , H01L 21/60 , H05K 3/34 507 , B23K 101:36

FI (7件)：

B23K 1/008 C , B23K 1/20 H , B23K 31/02 310 B , H05K 3/34 507 H , H05K 3/34 507 J , B23K 101:36 , H01L 21/92 604 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

ろう付け連続装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-235285 出願人：株式会社サーマル
半田付け装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-041190 出願人：神港精機株式会社
特開平4-182063

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