特許
J-GLOBAL ID：201103064072350172

ウェーハ保持具

発明者：
中井 哲弥

中井 哲弥 について

, 
河原 史朋

河原 史朋 について

, 
斎藤 誠

斎藤 誠 について

, 
川村 恭彦

川村 恭彦 について

, 
篠原 真

篠原 真 について

, 
荒井 克夫

荒井 克夫 について


出願人/特許権者：
株式会社SUMCO

株式会社SUMCO について


代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-522581
特許番号：特許第4061904号
出願日： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】上面にウェーハ(22)を載せる保持具本体(73)を備え、前記保持具本体(73)が熱処理炉に収容される支持具に形成された複数の保持具用凹溝に挿入されて水平に保持されたウェーハ保持具において、 前記保持具本体(73)が切欠きのない円板状に形成され、 前記保持具本体(73)にこの保持具本体(73)の軸線を中心に円周方向に延びかつ上方に突出するリング状の突起(74)が形成され、 前記ウェーハ(22)が前記突起(74)上面に接触して前記保持具本体(73)に載るように構成され、 前記ウェーハ(22)の直径をDとするとき前記突起(74)の外径が0.5D〜0.98Dの範囲内に形成され前記ウェーハ(22)の外周縁が前記突起(74)に接触しないように構成され、 前記突起(74)の高さHが2.0〜20mmに形成され、前記保持具本体(73)の外周縁に上方に突出する凸状リング(76)が形成され、前記凸状リング(76)の一部にウェーハ搬送用のフォーク(77)を挿入可能なフォーク用凹部(76a,76b)が形成され、前記フォーク用凹部(76a,76b)の底壁が前記凸状リング(76)周囲の保持具本体(73)と同一平面となるように形成された ことを特徴とするウェーハ保持具。
IPC (2件)：
H01L 21/22 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/205
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM