特許
J-GLOBAL ID：201103065070215568
回転駆動装置及びこれを用いたディスク原盤作成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 元彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-266578
公開番号（公開出願番号）：特開2002-074899
特許番号：特許第4261751号
出願日： 2000年09月04日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ディスク原盤を回転駆動する回転駆動装置と、電子ビームの偏向制御を行う偏向手段及び前記電子ビームを集束して前記ディスク原盤の主面上に照射するフォーカス制御手段を備えた電子ビーム出射手段と、前記回転駆動装置と前記電子ビーム出射手段とを前記ディスク原盤の半径方向に相対的に移動させる移動駆動装置とを備えたディスク原盤作成装置であって、前記回転駆動装置は、ハウジングと、前記ハウジングから少なくとも1端部が露出しつつ収容され静圧空気軸受によって回転自在に支持されたスピンドルシャフトと、前記スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、前記モータの近傍に配置された温度センサ及び電気加熱器と、前記温度センサの出力に基づいて電気加熱器を制御する温調コントローラとを有することを特徴とするディスク原盤作成装置。
IPC (6件)：
G11B 7/26 ( 200 6.01)
, G11B 25/04 ( 200 6.01)
, G11B 19/20 ( 200 6.01)
, H02K 5/16 ( 200 6.01)
, H02K 7/08 ( 200 6.01)
, F16C 32/06 ( 200 6.01)
G11B 7/26 501
, G11B 25/04 101 K
, G11B 19/20 F
, H02K 5/16 Z
, H02K 7/08 A
, F16C 32/06 Z
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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