研磨パッド用組成物及びこれを用いた研磨パッド

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島清路
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161520
公開番号（公開出願番号）：特開2001-334455
特許番号：特許第3925041号
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】架橋重合体を含有する非水溶性マトリックス材と、該非水溶性マトリックス材中に分散された中実体である水溶性粒子とを含有する研磨パッド用組成物であって、上記架橋重合体の少なくとも一部は架橋ゴムであり、かつ、上記架橋ゴムの少なくとも一部は架橋された1,2-ポリブタジエンであることを特徴とする研磨パッド用組成物。

IPC (1件)：