特許

J-GLOBAL ID：201103066155333817

容積式送液装置

発明者： 堀江 邦明 ,  塚本 究 ,  鴨田 憲二 ,  山岸 博剛 ,  植村 真也
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (2件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-217926
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221163
特許番号：特許第3844418号
出願日： 2000年07月18日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 液密な容器の一部が変形可能な隔膜で形成された送液室と、前記隔膜に連結され、該隔膜を変形させて前記送液室内の液体を吐出させる隔膜駆動装置とを有する容積式ポンプと、 送液時に、前記隔膜の内外の差圧を一定に制御する差圧制御部とを有することを特徴とする容積式送液装置。

IPC (5件)：

F04B 43/08 ( 200 6.01) ,  F04B 49/00 ( 200 6.01) ,  F04B 49/08 ( 200 6.01) ,  H01L 21/31 ( 200 6.01) ,  H01L 21/316 ( 200 6.01)

FI (5件)：

F04B 43/08 A ,  F04B 49/00 331 ,  F04B 49/08 311 ,  H01L 21/31 C ,  H01L 21/316 X

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 送液装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-055506   出願人：株式会社荏原製作所
• 特開昭49-096301
  
• 液体気化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-008364   出願人：シーケーディ株式会社
• 特開昭64-021201
  
• 液体放出及び気化システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-229801   出願人：エムケーエスインスツルメント,インコーポレーテッド