真空室の壁を通して少なくとも1種の蒸気状物質を真空室内へ搬入する方法並びに該方法を実施する装置とその使用

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：矢野敏雄 , 山崎利臣 , 久野琢也 , アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-135208
公開番号（公開出願番号）：特開2001-003171
特許番号：特許第4197827号
出願日： 2000年05月08日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空室の壁(4)を通して少なくとも1種の蒸気状物質を真空室内へ搬入する方法において、蒸気状物質を外部から選択的に、二重ジャケット管の内管(1)及び/又は外管(2)を通して真空室内へ搬入し、しかも前記二重ジャケット管の内管(1)と外管(2)を、電源(3)からの電流で負荷することを特徴とする、真空室の壁を通して少なくとも1種の蒸気状物質を真空室内へ搬入する方法。

IPC (2件)：