特許

J-GLOBAL ID：201103067335137443

研磨保持用パッドおよびその製造方法

発明者： 草川 公一 ,  大山 貴子 ,  大谷 真
出願人/特許権者： 日本発條株式会社
代理人 (1件)： 清水 定信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-158667
公開番号（公開出願番号）：特開2011-011304
出願日： 2009年07月03日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：

【課題】 生産性が高く、低密度でありながらエアリークが無く、研磨砥粒を含むスラリーが気孔内に浸透することがない研磨保持用パッドを得る。【解決手段】 パッドが自己スキン層を有するエアリークの無い独立気泡性ポリウレタン発泡体からなり、水の接触角が90°以上であり、自己スキン層はマット仕上げとなっている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

パッドが自己スキン層を有するエアリークの無い独立気泡性ポリウレタン発泡体からなり、水との接触角が90°C以上であることを特徴とする研磨保持用パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304

FI (2件)：

B24B37/04 L ,  H01L21/304 622F

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 発泡ポリウレタンおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-357387   出願人：東レ株式会社
• 研磨パッド用クッション材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-035818   出願人：日本発条株式会社
• 研磨方法及び研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-085585   出願人：SUMCOTECHXIV株式会社