ロードロック装置およびウェハ搬送システム

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：川▲崎▼ 研二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205150
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035904
特許番号：特許第4294172号
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】位置決めのための切り欠き部を有するウェハの授受を真空領域と大気領域との間で行うために、当該ウェハが載置されるロードロック装置であって、開口部を有し、空間を形成するフレームと、前記フレームの前記開口部に開閉可能に設けられ、開放時には前記フレームにより形成される空間内と前記ウェハの授受を行うことが可能であり、閉止時には前記フレーム内を密閉するゲートバルブ部と、前記フレーム内に回転可能に設けられ、前記ウェハが載置されるウェハ載置手段と、前記フレーム内を吸引することにより、前記フレーム内を真空状態にする真空手段と、前記フレームに設けられた貫通孔に挿通させられる複数の軸であって、当該フレームの内部にある一端側に前記ウェハ載置手段に載置されたウェハの中心を所定の中心位置に案内する案内手段を有し、他端側に各々の軸を移動可能にする第一の駆動手段を有する複数の軸と、前記複数の貫通孔全部の各々の周囲に配置され、前記軸の各々の移動を許容するとともに、前記フレーム内の密閉性を維持する複数の密閉維持手段と、前記ウェハ載置手段を回転させる第二の駆動手段と、前記第一の駆動手段により中心が前記中心位置に移動させられ、前記第二の駆動手段により回転させられる前記ウェハに形成された切り欠き部が所定の検出位置に位置しているか否かを検出する検出手段とを具備し、前記ウェハ載置手段が、前記ウェハの載置される側の面から突出し、当該面の複数箇所において当該ウェハとリング状に接触するリング状接触手段を有し、前記第一および第二の駆動手段が、前記フレームの外に配置されていることを特徴とするロードロック装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ( 200 6.01) , H01L 21/677 ( 200 6.01) , B65G 49/07 ( 200 6.01) , H01L 21/205 ( 200 6.01) , H01L 21/302 ( 200 6.01) , H01L 21/31 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01L 21/68 M , H01L 21/68 A , B65G 49/07 C , H01L 21/205 , H01L 21/302 , H01L 21/31 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

ウエハ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-288862 出願人：日立テクノエンジニアリング株式会社
真空搬送処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-189432 出願人：テル・バリアン株式会社
基板の位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-070428 出願人：株式会社村田製作所

前のページに戻る