特許
J-GLOBAL ID：201103068773515384

基板保持部材、基板搬送装置、基板搬送方法、ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法

発明者：
牛島 康之

牛島 康之 について

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花崎 哲嗣

花崎 哲嗣 について

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山田 章

山田 章 について

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小林 正佳

小林 正佳 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-158914
公開番号（公開出願番号）：特開2011-014784
出願日： 2009年07月03日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：
【課題】基板の変形を抑えて基板の受け渡しができること。【解決手段】基板を保持し、支持部によって支持される基板保持部材であって、前記基板が載置される載置面を有する基板載置部と、前記基板載置部と一体的に設けられ、前記載置面を含む面内に位置する所定軸を中心として前記基板載置部が回転可能なように前記支持部によって支持される被支持部とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板を保持し、支持部によって支持される基板保持部材であって、 前記基板が載置される載置面を有する基板載置部と、 前記基板載置部と一体的に設けられ、前記載置面を含む面内に位置する所定軸を中心として前記基板載置部が回転可能なように前記支持部によって支持される被支持部と を備える基板保持部材。
IPC (7件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/06 ,  B25J 15/08 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02F 1/13
FI (7件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/68 A ,  B65G49/06 A ,  B25J15/08 P ,  H01L21/30 502J ,  G03F7/20 501 ,  G02F1/13 101
Fターム (39件)：
2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H097DB01 ,  2H097DB07 ,  2H097DB20 ,  2H097LA11 ,  2H097LA12 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007EV07 ,  3C007NS12 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA17 ,  5F031GA24 ,  5F031GA35 ,  5F031GA45 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA07 ,  5F031HA13 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031KA17 ,  5F031KA20 ,  5F031LA01 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031MA27 ,  5F031NA02 ,  5F031PA14 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02 ,  5F046CD03 ,  5F046CD04
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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