ウェーハボート

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安倍逸郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-272303
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093966
特許番号：特許第3560137号
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ウェーハを支持する複数本の支持ロッドと、それぞれの支持ロッドの両端部を保持する一対の保持部材とを備え、上記各支持ロッドは、この支持ロッドより内側に配置された第1の掛止部材と、上記支持ロッドより外側に配置された第2の掛止部材とにより、互いに対峙する2方向から、上記保持部材に着脱自在に掛止されるウェーハボートであって、上記第1の掛止部材および第2の掛止部材は、上記支持ロッドの軸線に対して直交方向の外力を発生させることにより、上記保持部材に向かって支持ロッドをそれぞれ押しつけるとともに、この外力の一部を上記支持ロッドの軸線に作用する軸力に変換する変換手段を第2の掛止部材に設け、この変換手段は、互いに当接するテーパ面を第2の掛止部材および支持ロッドにそれぞれ有し、これらのテーパ面は上記支持ロッドの軸線に対して傾斜する面で構成されたウェーハボート。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , H01L 21/31 , H01L 21/324

FI (3件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/31 F , H01L 21/324 Q

引用特許：

出願人引用 (4件)

縦型ウエーハボート
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-095199 出願人：株式会社テクニスコ
ウエハボート
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-183272 出願人：東芝セラミックス株式会社
ウエーハ支持具及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-077473 出願人：住友シチックス株式会社

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審査官引用 (5件)

縦型ウエーハボート
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-095199 出願人：株式会社テクニスコ
ウエハボート
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-183272 出願人：東芝セラミックス株式会社
ウエーハ支持具及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-077473 出願人：住友シチックス株式会社

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