特許
J-GLOBAL ID：201103069646696970

メッシュ検査装置、メッシュ検査方法、プログラム、および記録媒体

発明者：
秦 直己

秦 直己 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-201319
公開番号（公開出願番号）：特開2011-053044
出願日： 2009年09月01日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：
【課題】エッチングや印刷のムラによりメッシュ幅の太さの変化に影響されずに正確な欠陥抽出を行うことが可能なメッシュ検査装置を提供する。【解決手段】メッシュ検査装置1の処理部3は、ラインセンサ5からメッシュシート10のメッシュが画像に写る分解能で画像を入力し、前処理として光源である白色LED照明7によるシェーディングの補正を行い、前処理した画像を平滑化し、欠陥を誤検出しない程度に画像をぼかす。平滑化した画像内でしきい値により欠陥を抽出し、抽出した欠陥の重心を中心に例えば128×128画素を平滑化前の画像からトリミングする。トリミングした画像のFFT画像でメッシュの空間周波数に相当する領域を0に置き換えてメッシュ周波数を除去した後、IFFT処理を施し、得られた画像から欠陥の輝度、形状、面積の判定を行い、結果を出力する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ラインセンサと照明により得られる画像から、メッシュシートの検査を行うメッシュ検査装置であって、 メッシュシートの入力画像を得る画像入力手段と、 前記入力画像を平滑化して平滑化画像を得る平滑化手段と、 前記平滑化画像から第1のしきい値により欠陥を抽出し、欠陥の重心座標を得る欠陥抽出手段と、 前記入力画像から前記欠陥の重心座標を中心とした所定の範囲のトリミング画像を得るトリミング手段と、 前記トリミング画像にFFT処理を施し、FFT画像を得るFFT手段と、 前記FFT画像からメッシュ周波数を抽出するメッシュ周波数抽出手段と、 前記抽出したメッシュ周波数を前記FFT画像から除去するメッシュ周波数除去手段と、 前記メッシュ周波数を除去したFFT画像にIFFT処理を施し、欠陥画像を得るIFFT手段と、 を具備することを特徴とするメッシュ検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/898 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N21/898 Z ,  G01B11/30 Z
Fターム (42件)：
2F065AA12 ,  2F065AA45 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065AA58 ,  2F065AA61 ,  2F065BB01 ,  2F065CC17 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ15 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS13 ,  2G051AA41 ,  2G051AB01 ,  2G051AB04 ,  2G051AC04 ,  2G051AC12 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051DA06 ,  2G051EC03 ,  2G051EC05 ,  2G051ED03 ,  2G051GD03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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