圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊藤洋二 , 三浦高広 , 水野史博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-366458
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183254
特許番号：特許第4379993号
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数の薄肉部(14、15)が形成された半導体基板(10、30)と、第1の前記薄肉部(14)に設けられ、圧力に応じて電気信号を出力する圧力検出用回路と、第2の前記薄肉部(15)に設けられ、前記圧力検出用回路に比較して高い感度で圧力に応じて電気信号を出力する故障検出用回路と、前記圧力検出用回路から出力される電気信号と前記故障検出用回路から出力される電気信号とに基づいて前記圧力検出用回路の故障判定を行う故障判定手段(28)とを備え、前記第2薄肉部(15)は、前記第1の薄肉部(14)に比較して面積が大きくなるように構成されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：