特許
J-GLOBAL ID：201103070377022167

レーザ装置及び露光装置

発明者：
永井 伸治

永井 伸治 について


出願人/特許権者：
ギガフォトン株式会社

ギガフォトン株式会社 について


代理人 (1件)： 宇都宮 正明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-310969
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124554
特許番号：特許第4004263号
出願日： 2001年10月09日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レーザガスが充填されるレーザチャンバと、前記レーザガスを励起して活性化させるための放電電極とを含み、少なくとも第1の波長成分と第2の波長成分とを有するレーザ光を発生するレーザ共振器と、 前記レーザ共振器の内部に配置され、前記レーザ共振器に第1の波長成分を主として発生させる波長選択手段と、 前記レーザチャンバに充填されるレーザガスを調整するガスコントローラと、 前記放電電極に電圧を印加する電源部と、 前記レーザ共振器から出力されるレーザ光の強度を複数の波長成分について検出する検出手段と、 前記検出手段によって検出された少なくとも第1の波長成分の強度と第2の波長成分の強度とに基づいて、前記第1の波長成分以外の波長成分の相対的強度を低下させるように、前記ガスコントローラと前記電源部との内の少なくとも1つを制御する制御手段と、 を具備するレーザ装置。
IPC (4件)：
H01S 3/137 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  H01S 3/134 ( 200 6.01)
FI (5件)：
H01S 3/137 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01S 3/134
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (13件)
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