特許
J-GLOBAL ID：201103071010861827
生成方法、作成方法、露光方法及びプログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-159167
公開番号（公開出願番号）：特開2011-059662
出願日： 2010年07月13日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：
【課題】多重露光に使用される複数の原版のパターンのデータの生成に有利な技術を提供する。【解決手段】光源からの光を用いて原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系とを備える露光装置において、複数回露光を行うことで1つの層のパターンを基板に形成する多重露光に使用される複数の原版のそれぞれのパターンのデータをコンピュータによって生成する生成方法を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源からの光を用いて原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系とを備える露光装置において、複数回露光を行うことで1つの層のパターンを基板に形成する多重露光に使用される複数の原版のそれぞれのパターンのデータをコンピュータによって生成する生成方法であって、
前記基板に形成すべきパターンに対応する仮パターンを構成する複数のパターン要素のそれぞれに順に注目し、注目パターン要素に対する他のパターン要素の相対的な位置を前記注目パターン要素の位置を原点としてマッピングしてマップを生成する第1のステップと、
前記第1のステップで生成したマップから周期性を有するパターン要素を選択し、予め定められた複数の有効光源のうち前記選択したパターン要素の配列パターンに対応する有効光源を決定する第2のステップと、
前記第2のステップで決定した有効光源において予め定められた値よりも大きな値の強度を有する領域からの光を透過する透過率分布を前記投影光学系の瞳面に形成する瞳フィルタを仮定する第3のステップと、
前記第2のステップで決定した有効光源で前記投影光学系の物体面に配置した仮パターンを照明したときに、前記仮パターン及び前記第3のステップで仮定した瞳フィルタを通過した光が前記投影光学系の像面に形成する強度分布を算出する第4のステップと、
前記第4のステップで算出した強度分布において、強度がピークとなるピーク位置を特定する第5のステップと、
前記仮パターンを前記投影光学系の像面に投影したときに、前記複数のパターン要素から前記第5のステップで特定したピーク位置を内部に含む第1のパターン要素を抽出する第6のステップと、
前記第6のステップで抽出した第1のパターン要素を含むパターンのデータを前記複数の原版のうち1つの原版のパターンのデータとして生成する第7のステップと、
を有し、
前記複数のパターン要素から前記第1のパターン要素を除いた第2のパターン要素を含むパターンを新たな仮パターンとして、前記第1のステップから前記第7のステップを含むサイクルを繰り返し、前記第2のパターン要素の数が0になるサイクルで前記繰り返しを終了することを特徴とする生成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/08 A
, H01L21/30 514A
2H095BA02
, 2H095BA05
, 2H095BB02
, 2H095BB36
, 5F046AA13
, 5F046AA25
, 5F046CB17
, 5F046DA01
, 5F146AA13
, 5F146AA25
, 5F146CB17
, 5F146DA01
