特許
J-GLOBAL ID：200903036529258127
原版データの生成方法、原版作成方法、露光方法、デバイス製造方法及び原版データを作成するためのプログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-041489
公開番号（公開出願番号）：特開2009-093138
出願日： 2008年02月22日
公開日（公表日）： 2009年04月30日
要約：
【課題】 微細なパターンを精度よく形成する原版のデータを生成する生成方法を提供する。【解決手段】 光源からの光を用いて原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系とを備える露光装置に用いられる原版のデータをコンピュータによって生成する生成方法であって、近似空中像に基づいて主パターンを決定し、補助パターンを挿入することで原版のデータを生成する生成方法を提供する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
光源からの光を用いて原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系とを備える露光装置に用いられる原版のデータをコンピュータによって生成する生成方法であって、
前記照明光学系が前記投影光学系の瞳面に形成する光強度分布に関する情報と、前記光源からの光の波長に関する情報と、前記投影光学系の像面側の開口数に関する情報と、前記基板に形成すべき目標パターンとに基づいて、前記基板に形成される空中像を算出する空中像算出ステップと、
前記空中像算出ステップで算出された空中像から2次元像を抽出する2次元像抽出ステップと、
前記2次元像抽出ステップで抽出された2次元像に基づいて前記原版の主パターンを決定する主パターン決定ステップと、
前記空中像算出ステップで算出された空中像から前記主パターンが前記基板に投影される領域を除いた領域において、光強度がピークとなるピーク部分を抽出するピーク部分抽出ステップと、
前記ピーク部分抽出ステップで抽出されたピーク部分の光強度に基づいて補助パターンを決定する補助パターン決定ステップと、
前記補助パターン決定ステップで決定された補助パターンを前記ピーク部分抽出ステップで抽出されたピーク部分に対応する前記原版の部分に挿入して、前記主パターン決定ステップで決定した主パターンと前記補助パターンとを含むパターンデータを前記原版のデータとして生成する生成ステップとを有することを特徴とする生成方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H095BA01
, 2H095BA02
, 2H095BB02
, 2H095BB36
, 2H095BC09
出願人引用 (1件)
審査官引用 (10件)
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