特許
J-GLOBAL ID：201103071988662613
フローセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120623
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310553
特許番号：特許第3530069号
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基体の表面上に形成され、外部からの駆動電流により流路を流れる計測対象流体を加熱するヒータと、前記基体の表面上に形成され、前記ヒータに対して前記計測対象流体の上流側に配置され、前記計測対象流体の温度を検出し、第1温度検出信号を出力する上流側温度センサと、前記基体の表面上に形成され、前記ヒータに対して前記計測対象流体の下流側に配置され、前記計測対象流体の温度を検出し、第2温度検出信号を出力する下流側温度センサと、前記基体の表面上に形成され、前記ヒータ、前記上流側温度センサ及び前記下流側温度センサの各々について各々に配線された複数の電極とを備え、前記基体の内の前記電極の位置に対応する基体部分に、前記電極から前記基体の裏面まで複数の溝部を形成し、前記複数の溝部の各々の位置にあたる位置に、基台の表面上に突出する外部出力部材を設け、前記溝部に固定する部材である導電性部材を埋め込み、前記基台上の前記外部出力部材が前記導電性部材に埋め込まれ、前記基体を前記基台に固定し、かつ、前記電極を外部に取り出したことを特徴とするフローセンサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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