特許
J-GLOBAL ID：201103072587046673

微小金属球の選別方法

発明者：
長谷川 則彦

長谷川 則彦 について

, 
市田 晃

市田 晃 について


出願人/特許権者：
株式会社アライドマテリアル

株式会社アライドマテリアル について


代理人 (2件)： 後藤 洋介 ,  池田 憲保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-149321
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343821
特許番号：特許第3589195号
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】傾斜面を備えた傾斜テーブル、当該傾斜面に振動を与える直進フィーダー装置、前記傾斜面の端部に設けられたボール供給部、及び前記ボール供給部と対向する前記傾斜面の端部位置に設けられたボール回収部とを使用して、直径50〜150μmの金属球を形状選別する方法において、前記直進フィーダー装置によって、前記傾斜テーブルを予め定められた振動方向に振動させ、前記傾斜面に沿って前記ボール供給部からのボールを前記ボール回収部に導く段階と、前記振動方向に対する前記傾斜面とグランド面との間の傾斜角度Aと、当該振動方向と垂直方向の前記傾斜面と前記グランド面との間の傾斜角度Bとを調整する段階とを含み、 前記傾斜角度Bは、前記ボール供給部から前記ボール回収部に向かって前記ボールが転がるような角度の範囲内で調整されると共に、前記傾斜角度Aは、前記ボール供給部から供給されるボールが前記振動方向に前記傾斜面を競り上がった後、前記ボール回収部方向に向かって広がるように、調整されることを特徴とする微小金属球の選別方法。
IPC (3件)：
H01L 21/60 ,  B07B 1/14 ,  B07B 13/11
FI (3件)：
H01L 21/92 604 H ,  B07B 1/14 ,  B07B 13/11 E
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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