特許
J-GLOBAL ID:201103072922464469

ストライプ状の開口部を備えた金属部材とそれを用いた金属マスク

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-006789
公開番号(公開出願番号):特開2011-146281
出願日: 2010年01月15日
公開日(公表日): 2011年07月28日
要約:
【課題】金属薄板に多数のストライプ状の開口部を多段エッチングにて形成する際に、ストライプ状の端部近傍の開口部の幅が広がることなく、良好な寸法精度のエッチング製品を提供する。【解決手段】金属薄板1の第一面に多数のストライプ状に形成された小孔パターン3aを有し、前記第一面の他面には、前記第一面の小孔パターンと対向して位置合わせ形成されたストライプ状の第一大孔パターン3bを有し、前記ストライプ状の大孔パターン端部の外側には延長して形成された非貫通の大孔パターンを備えており、前記小孔パターンと第一大孔パターンは貫通したストライプ状の開口部Kを形成している。【選択図】図4
請求項(抜粋):
金属薄板の第一面に多数のストライプ状に形成された小孔パターンを有し、前記第一面の他面には、前記第一面の小孔パターンと対向して位置合わせ形成されたストライプ状の第一大孔パターンを有し、前記ストライプ状の第一大孔パターン端部の外側には延長して形成された非貫通の第二大孔パターンを備えており、前記小孔パターンと第一大孔パターンは貫通したストライプ状の開口部を形成していることを特徴とする金属部材。
IPC (2件):
H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (2件):
H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (10件):
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG33 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03
引用特許:
審査官引用 (4件)
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