特許

J-GLOBAL ID：200903074393594682

蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法

発明者： 小 川 和 也
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (5件)： 吉武 賢次 ,  永井 浩之 ,  岡田 淳平 ,  勝沼 宏仁 ,  堀田 幸裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-081349
公開番号（公開出願番号）：特開2009-074160
出願日： 2008年03月26日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：

【課題】蒸着材料を高い利用効率で成膜することができる蒸着マスクを提供する。【解決手段】蒸着マスク20は、第1面34aおよび第1面とは反対側の第2面34bを有し、第1面と第2面との間を延びる貫通孔25が形成された金属製シート34を備える。金属製シートの第1面側に、線状に延びる溝26が形成されている。金属製シートの第2面側に、穴27が形成されている。溝と穴とは通じており、これにより、溝と穴とによって金属製シートを貫通する貫通孔が形成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第1面および前記第1面とは反対側の第2面を有し、前記第1面と前記第2面との間を延びる貫通孔が形成された金属製シートを備え、 前記金属製シートの前記第1面側に、線状に延びる溝が形成され、 前記金属製シートの前記第2面側に、穴が形成されており、 前記溝と前記穴とは通じており、前記溝と前記穴とによって前記金属製シートを貫通する貫通孔が形成されている ことを特徴とする蒸着マスク。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

C23C14/24 G ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (15件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG33 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB18 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• メタルマスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-191721   出願人：日立金属株式会社

審査官引用 (3件)

• 蒸着用マスクの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-421720   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• メタルマスクの製造方法およびメタルマスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-009240   出願人：凸版印刷株式会社
• 電極パターンの形成方法及び光電池モジュール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-245520   出願人：関西ペイント株式会社