特許
J-GLOBAL ID：201103072995984835
テープ研磨装置
出願人/特許権者：
不二越機械工業株式会社
,
不二越機械工業株式会社 について
代理人 (2件)： 綿貫 隆夫 , 堀米 和春
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-171658
公開番号（公開出願番号）：特開2001-347446
特許番号：特許第4289764号
出願日： 2000年06月08日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 砥粒が保持された砥粒面を有する研磨テープと、平面状の被研磨面を有するワークとを、前記砥粒面と前記被研磨面とを加工液を介して接触させつつ相対的に運動させると共に、前記研磨テープを長尺方向へ送って前記被研磨面を研磨するテープ研磨装置であって、
前記研磨テープを該研磨テープの背面から前記被研磨面側へ押圧する押圧部材が前記ワーク側の先端部に設けられ、前記押圧部材の被研磨面に対向する部位に沿わせて研磨テープを送る供給リールと巻取リールが設けられた研磨テープ送り機構が内蔵されて、前記研磨テープが内側を走行する円筒状の研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドを、前記被研磨面に直交する研磨ヘッドの軸心を中心に回転させる研磨ヘッドの回転機構と、
前記研磨ヘッドの先端振れを防止すべく、前記ワーク側の研磨ヘッドの先端部をガイドするように、前記先端部の外周面に当接する三個以上のローラ状部材から構成されている先端振れ止めガイド部とを備えることを特徴とするテープ研磨装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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