基板チャック装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：ポレール特許業務法人 , 小川勝男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362199
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176956
特許番号：特許第4041256号
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を吸着保持するチャック本体と、前記基板の形状に対応させて前記チャック本体に設けられた外側リムと、前記チャック本体の前記外側リムの内側に設けられた内側リムと、前記基板と前記チャック本体と前記内側リムとによって形成される内側空間を吸気する吸気経路と、前記基板と前記チャック本体と前記外側リムと前記内側リムとによって形成される外側空間における前記内側リムの近傍と前記内側空間における前記内側リムの近傍とを接続するオリフィスとを有し、前記外側空間が、前記吸気経路によって吸気される前記内側空間よりも前記オリフィスを介して遅れて吸気されるように構成することを特徴とする基板チャック装置。

IPC (1件)：