半導体テストシステム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺喜平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-109864
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349927
特許番号：特許第4115101号
出願日： 2001年04月09日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体テストシステムにおいて、テストパターンの変化点をタイミングにより規定したイベント形式で記述されたテストデータを用いて動作し、同一または異なる種類の性能を有するテスタモジュールと、そのテスタモジュールを任意に組み合わせて搭載するシステム本体と、被試験デバイスを搭載するためのメカニズムを有したパフォーマンスボードと、そのテストシステム本体に設けられ、テスタモジュールと上記パフォーマンスボードを電気的に接続するテスト・フィクスチャと、そのテスト・フィクスチャに設けられ、上記テスタモジュールと被試験デバイス間の信号変換を行い、あるいは上記被試験デバイスとテスタモジュール間のインタフェースを行う測定モジュールと、そのテストシステムに搭載された上記テスタモジュールとシステムバスを介して通信することにより、システム全体の動作を制御するホストコンピュータと、により構成される半導体テストシステム。

IPC (1件)：

G01R 31/28 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01R 31/28 H

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平1-201175
IC試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-308961 出願人：株式会社アドバンテスト
試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-006227 出願人：横河電機株式会社

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審査官引用 (3件)

特開平1-201175
IC試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-308961 出願人：株式会社アドバンテスト
試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-006227 出願人：横河電機株式会社

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