特許
J-GLOBAL ID：201103074682050010

2次元位置決め装置

発明者：
小野 裕

小野 裕 について

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橋田 茂

橋田 茂 について

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小泉 豊

小泉 豊 について

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海保 文雄

海保 文雄 について


出願人/特許権者：
横河電機株式会社

横河電機株式会社 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308797
公開番号（公開出願番号）：特開2001-125648
特許番号：特許第3543701号
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】対象物を2次元方向に位置決めする2次元位置決め装置において、前記対象物が載せられ、格子プラテン上に浮揚させられたスライダ部と、このスライダ部をX軸方向にそれぞれ移動させる第1及び第2のX軸モータと、前記スライダ部をY軸方向に移動させるY軸モータと、レーザ干渉計を用いて光学的にスライダ部のX軸方向位置を検出する第1及び第2のX軸センサと、レーザ干渉計を用いて光学的にスライダ部のY軸方向位置を検出するY軸センサと、(前記第1のX軸センサの検出位置)+(前記第2のX軸センサの検出位置)をもとにスライダ部のX軸方向の位置検出信号を生成し、(前記第1のX軸センサの検出位置)-(前記第2のX軸センサの検出位置)をもとにスライダ部のヨーイング角θの検出信号を生成する変換回路と、前記スライダ部のX軸方向の位置検出信号をもとにスライダ部のX軸方向位置のフィードバック制御をθ方向制御とは独立に行うX軸位置制御部と、前記スライダ部のヨーイング角θの検出信号をもとにスライダ部のθ方向位置のフィードバック制御をX軸方向制御とは独立に行うθ位置制御部と、前記Y軸センサの位置検出信号をもとにスライダ部のY軸方向位置をフィードバック制御するY軸位置制御部と、を具備したことを特徴とする2次元位置決め装置。
IPC (2件)：
G05D 3/12 ,  G12B 5/00
FI (2件)：
G05D 3/12 H ,  G12B 5/00 T
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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