特許
J-GLOBAL ID:201103075360822447

走査光学系の走査ビーム光量分布測定方法および測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 有我 軍一郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-275239
公開番号(公開出願番号):特開2002-086795
特許番号:特許第4132619号
出願日: 2000年09月11日
公開日(公表日): 2002年03月26日
請求項(抜粋):
【請求項1】 光源から発光された後、走査光学系によって所定方向に走査される走査ビームの光量の分布を測定する走査光学系の走査ビーム光量分布測定方法において、 前記走査ビームの走査方向と同方向に移動可能な二次元エリア受光素子を準備し、前記二次元エリア受光素子を前記走査ビームの走査方向に移動させながら前記受光素子で前記走査ビームを検出するとともに前記受光素子が受光した走査ビームの画像データを走査方向における前記二次元エリアセンサの位置情報と関連付けてデータ格納手段に格納し、次いで、前記データ格納手段に格納された走査ビームのデータを用いて前記所定方向に走査される前記走査ビームの光量分布を解析するようにしたことを特徴とする走査光学系の走査ビーム光量分布測定方法。
IPC (3件):
B41J 2/44 ( 200 6.01) ,  G01J 1/02 ( 200 6.01) ,  G01B 11/30 ( 200 6.01)
FI (4件):
B41J 3/00 D ,  G01J 1/02 L ,  G01B 11/30 A ,  G01B 11/30 H
引用特許:
審査官引用 (4件)
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