多段式容積移送型ドライ真空ポンプ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：大森純一 , 折居章 , 飯阪泰雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-327229
公開番号（公開出願番号）：特開2003-155988
特許番号：特許第4045362号
出願日： 2001年10月25日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】最終段のロータが排気する最後段の排気空間に接続された主排気配管に大気への方向を順方向とする逆止弁を設けた多段式容積移送型ドライ真空ポンプにおいて、大気圧に近い中間段の排気空間または前記最後段の排気空間のいずれかに連なる副排気配管を設け、該副排気配管に接続され前記ドライ真空ポンプの運転中に前記排気空間を排気する補助ポンプであって、排気速度が前記ドライ真空ポンプの1〜2%である補助ポンプを前記逆止弁に並列に設けたことを特徴とする多段式容積移送型ドライ真空ポンプ。

IPC (2件)：