特許
J-GLOBAL ID：201103075908603846
感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高田 幸彦
, 竹ノ内 勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131739
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312063
特許番号：特許第3799957号
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】(a)一般式(I)
(式中、Uは4価の有機基を示し、Vは2価の有機基を示す)で表される繰り返し単位を有するポリアミド、
(b)光により酸を発生する化合物、及び、
(c)分子中にアルコキシメチル基とフェノール性水酸基とを有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, C08G 69/26 ( 200 6.01)
, C08K 5/13 ( 200 6.01)
, C08L 77/06 ( 200 6.01)
, G03F 7/023 ( 200 6.01)
, H01L 21/312 ( 200 6.01)
G03F 7/004 501
, C08G 69/26
, C08K 5/13
, C08L 77/06
, G03F 7/023
, H01L 21/312 D
