クリーン搬送車

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-263038
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085499
特許番号：特許第4060496号
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】1枚の枚葉搬送物を格納する収納ボックスを備え、該収納ボックス内に枚葉搬送物を格納した状態で枚葉搬送物を搬送するようにしたクリーン搬送車において、前記収納ボックスの底部カバーを、収納ボックスの上部本体に対して昇降可能に構成して、該底部カバーに枚葉搬送物を載置するようにし、底部カバーの外縁に、移載点において収納ボックスの下方に設置した置き台に形成された枚葉搬送物の支持片が通過する切欠を形成し、底部カバーを降下させることによって底部カバー側から置き台に、また、底部カバーを上昇させることによって置き台側から底部カバーに、枚葉搬送物の受け渡しを行うようにしたことを特徴とするクリーン搬送車。

IPC (4件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) , B61B 13/00 ( 200 6.01) , B61D 27/00 ( 200 6.01) , B65G 49/07 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/68 A , B61B 13/00 A , B61D 27/00 S , B65G 49/07 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-292114 出願人：シャープ株式会社
特開平1-150334
特開平1-117041

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