特許
J-GLOBAL ID：201103077450655950

X線トポグラフィ装置

発明者：
町谷 芳郎

町谷 芳郎 について

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▲禧▼久 敦徳

▲禧▼久 敦徳 について


出願人/特許権者：
株式会社リガク

株式会社リガク について


代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-124382
公開番号（公開出願番号）：特開2000-314708
特許番号：特許第3976292号
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 X線を放射するX線源と、 試料を支持する試料支持手段と、 前記試料の近傍に設けられた付帯機器と、 前記試料からのX線を平面領域内で検出できる2次元X線検出手段と、 前記X線源から出て前記試料へ向かうX線を規制する少なくとも1つの入射側スリットと、 前記試料と前記2次元X線検出手段との間に配設される出射側スリットと、 前記X線源及び前記入射側スリットを支持するω移動台と、 前記出射側スリット及び前記ω移動台を支持し前記試料、前記付帯機器及び前記2次元X線検出手段に対して平行移動可能な基台とを有し、 その基台は前記平行移動のときに前記試料を通過するω軸線を具備し、前記ω移動台はそのω軸線を中心として回転可能であり、 前記基台を前記平行移動させることにより測定を行い、前記試料支持手段は該測定中に前記試料を静止状態で保持し、前記付帯機器及び前記2次元X線検出手段も前記測定中に静止状態で保持される ことを特徴とするX線トポグラフィ装置。
IPC (1件)：
G01N 23/20 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01N 23/20
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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