特許

J-GLOBAL ID：201103077561367724

バンプ検査方法およびその検査装置

発明者： 高橋 文之 ,  塚原 博之 ,  大嶋 美隆 ,  西山 陽二 ,  布施 貴史
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 横山 淳一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-099440
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294590
特許番号：特許第4207302号
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 バンプを有する被検査対象に対し、該バンプの形成面と所定角度をなす斜め方向から第一照射光を当て、 該被検査対象からの第一反射光を結像させ、該バンプからの第一反射光により構成される反射領域である第一正反射領域及び多重反射領域を含む第一反射画像と、該第一正反射領域に対応する該バンプの高さデータを取得し、 該第一反射画像における該第一正反射領域及び該多重反射領域の位置を、該高さデータの値と該所定角度とに基づいた値に応じて該第一反射画像の中で移動させ、 該第一反射画像から、該バンプの中心位置に対応する領域内に存在する該第一正反射領域を抽出し、抽出した該第一正反射領域に対応する該高さデータに基づいて該バンプの高さを検出することを特徴とするバンプ検査方法。

IPC (2件)：

H01L 21/60 ( 200 6.01) ,  G01B 11/24 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/92 604 T ,  G01B 11/24 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 立体電極外観検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-037015   出願人：富士通株式会社
• 高さ検査方法、それを実施する高さ検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-203539   出願人：富士通株式会社
• バンプ高さ測定方法及びバンプ高さ測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-211110   出願人：株式会社東芝
• 外観検査方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-366368   出願人：日立東部セミコンダクタ株式会社