高純度NF3ガスの精製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：藤本英介 , 神田正義 , 宮尾明茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-257968
公開番号（公開出願番号）：特開2002-068716
特許番号：特許第4132614号
出願日： 2000年08月28日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】不純物を含む粗三弗化窒素(NF3)ガスを、水及び/又はアルカリ水溶液及び/又は還元性水溶液を用いて洗浄、不純物を除去した後、この水分を含む三弗化窒素ガスを熱交換式の精製装置を用いて、水分を液化もしくは固化して除去、精製する方法に於いて、冷媒に液体NF3を用いることを特徴とする高純度NF3ガスの精製方法。

IPC (3件)：