特許
J-GLOBAL ID：201103078143004425

静電チャック

発明者：
クツク,リチヤード・エイ

クツク,リチヤード・エイ について


出願人/特許権者：
インテグリス・インコーポレーテッド

インテグリス・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 特許業務法人川口國際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-510500
公開番号（公開出願番号）：特表2011-521470
出願日： 2009年05月15日
公開日（公表日）： 2011年07月21日
要約：
本発明の一実施形態によれば、電極と表面層とを含む静電チャックが提供され、表面層は、電極の電圧によって活性化されて、基板を静電チャックに静電的にクランプする電荷を形成する。表面層は、複数の突起(突起群)を含み、突起群は、突起群を囲む表面層の複数部分の上の、ある高さまで伸びることにより、基板が静電クランプされている間、基板を突起群の上で支持する。突起群は、隣接する突起のペアの中心から中心までの距離として測定される間隔が、表面層の全体にわたって、ほぼ等しくなるように配置される。
請求項（抜粋）：
静電チャックであって、 電極と、 表面層と、を備え、前記表面層は、前記電極の電圧によって活性化されて、基板を前記静電チャックに静電的にクランプする電荷を形成し、前記表面層は、複数の突起(突起群)を含み、前記突起群は、前記突起群を囲む前記表面層の複数部分の上の、ある高さまで伸びることにより、前記基板が静電クランプされている間、前記基板を前記突起群の上で支持し、前記突起群は、隣接する突起のペアの中心から中心までの距離として測定される間隔が、前記表面層の全体にわたって、ほぼ等しくなるように配置される、 静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  H02N 13/00
FI (3件)：
H01L21/68 B ,  B65G49/07 E ,  H02N13/00 D
Fターム (14件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031HA16 ,  5F031HA18 ,  5F031HA33 ,  5F031JA27 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031MA35 ,  5F031PA13
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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