特許
J-GLOBAL ID：200903026858079157
静電チャックおよび静電チャックを搭載した装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-273355
公開番号（公開出願番号）：特開2005-033125
出願日： 2003年07月11日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】 被吸着体が静電チャック誘電体と接触する面積を極限にまで小さくし、かつ十分な吸着力を発揮する新しい類型の静電チャックを提供する。【解決手段】 電極と該電極に対する電気的接続手段と、複数の凸部が形成され被吸着体を該凸部上面に載置する平滑な表面を有する誘電体と、から構成され前記誘電体の体積抵抗率が105〜1011Ωmの静電チャックであって、前記複数の凸部の合計の面積と前記誘電体表面の面積との比率が0.001%以上〜1%未満であることとした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電極と該電極に対する電気的接続手段と、複数の凸部が形成され被吸着体を該凸部上面に載置する平滑な表面を有する誘電体と、から構成され前記誘電体の体積抵抗率が105〜1011Ωmの静電チャックであって、
前記複数の凸部上面の合計の面積と前記誘電体表面の面積との比率が0.001%以上〜1%未満であることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA02
, 5F031HA08
, 5F031HA16
, 5F031HA18
出願人引用 (10件)
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特許第3275901号公報
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静電チヤツク
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-301834
出願人：日本碍子株式会社
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静電チャック
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-075672
出願人：京セラ株式会社
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審査官引用 (7件)
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