特許
J-GLOBAL ID：200903018214513643
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
中村 友之
, 三好 秀和
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
, 鈴木 壯兵衞
, 高久 浩一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-370412
公開番号（公開出願番号）：特開2007-173596
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】クーロン力を利用する静電チャックであって、吸着力を維持しつつ、基板に付着するパーティクルを低減した静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャック10は、基体11と、該基体11上に形成され、クーロン力を発生させる電極12と、基板1を支持する側の第1の主面上に、突起上面で該基板1を支持する複数の突起13aを有する誘電体層13とを備え、突起13a間の間隔は、略均等に設けられ、突起上面の表面粗さ(Ra)は、0.5μm以下であり、突起13aの高さは、5〜20μmであり、第1の主面の単位面積100cm2あたりの前記突起13aの数をA(個/100cm2)、前記突起13aの高さをB(μm)として、数式 A1/2×B2>200 の関係が満たされる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基体と、該基体上に形成され、クーロン力を発生させる電極と、基板を支持する側の第1の主面上に、突起上面で該基板を支持する複数の突起を有する誘電体層とを備え、
前記突起間の間隔は、略均等に設けられ、
前記突起上面の表面粗さ(Ra)は、0.5μm以下であり、
前記突起の高さは、5〜20μmであり、
前記第1の主面の単位面積100cm2あたりの前記突起の数をA(個/100cm2)、前記突起の高さをB(μm)として、下記の数式
A1/2×B2>200 の関係が満たされることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA02
, 5F031HA08
, 5F031HA16
, 5F031MA27
, 5F031MA28
, 5F031MA29
, 5F031MA31
, 5F031PA23
出願人引用 (3件)
審査官引用 (9件)
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