特許
J-GLOBAL ID：201103078237479508
インプリント装置、及びそれを用いた物品の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高岡 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-241679
公開番号（公開出願番号）：特開2011-091104
出願日： 2009年10月20日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：
【課題】モールドのパターン面に形成された凹凸部に残留した紫外線硬化樹脂を短時間で検査可能なインプリント装置を提供する。【解決手段】モールド5に形成されたパターン10を基板8に塗布された樹脂11に押印し、基板8にパターン10の層を形成するインプリント装置1であって、樹脂11は、紫外線を受光することにより硬化する紫外線硬化樹脂に、紫外線を受光すると蛍光、若しくは燐光する発光物質15を混合したものであり、発光物質から発する光を検知する発光検知手段16を備え、該発光検知手段16は、基板8上の発光物質15が混合された紫外線硬化樹脂からモールド5を離型した後、モールド5におけるパターン10の凹凸部に残留した残留樹脂22から発する光を検知する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
モールドに形成されたパターンを基板に塗布された樹脂に押印し、前記基板に前記パターンの層を形成するインプリント装置であって、
前記樹脂は、紫外線を受光することにより硬化する紫外線硬化樹脂に、紫外線を受光すると蛍光、若しくは燐光する発光物質を混合したものであり、
前記発光物質から発する光を検知する発光検知手段を備え、
前記発光検知手段は、前記基板上の前記発光物質が混合された前記紫外線硬化樹脂から前記モールドを離型した後、前記モールドにおける前記パターンの凹凸部に残留した残留樹脂から発する光を検知することを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AR20
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PN13
, 4F209PQ11
, 5F046AA28
, 5F146AA28
