特許
J-GLOBAL ID：201103078274853347
プローブ及びプローブカード
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 正夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-278474
公開番号（公開出願番号）：特開2011-122843
出願日： 2009年12月08日
公開日（公表日）： 2011年06月23日
要約：
【目的】 本発明の目的は、狭ピッチ間隔の配置下においても、耐電流値の高いプローブ及びプローブカードを提供する。【構成】 プローブ400は、導電材料で構成されており且つ本体部411及び本体部411の先端面及び外周面を覆う外郭部412を有する接触部410と、この接触部410の本体部411の後端面に設けられた触媒粒子層420と、この触媒粒子層420に束状に林立しており且つ本体部411の後端面に対する直角方向に延伸したカーボンナノ材料430とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
導電材料で構成された接触部と、
この接触部の端面に設けられた触媒層と、
この触媒層に束状に林立するカーボンナノ材料とを備えていることを特徴とするプローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R1/067 Z
, H01L21/66 B
2G011AA01
, 2G011AA16
, 2G011AC14
, 2G011AC21
, 2G011AC31
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106CA01
, 4M106DD03
, 4M106DD10
