特許
J-GLOBAL ID：201103078890435257

位置合わせ装置及び位置合わせ方法

発明者：
宮武 勤

宮武 勤 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (3件)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄 ,  今村 健一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-236373
公開番号（公開出願番号）：特開2003-051436
特許番号：特許第3639231号
出願日： 2001年08月03日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の面上に第1のマークが形成された第1の対象物を保持する第1の保持手段と、 第2の面上に第2のマークが形成された第2の対象物を保持する第2の保持手段と、 前記第2の保持手段に保持された第2の対象物の第2の面が、前記第1の保持手段に保持された第1の対象物の第1の面からある間隙を隔てて配置される第1の位置、及び該第1の面の法線方向に平行な視線で見たとき、前記第2の保持手段に保持された第2の対象物の少なくとも一部が、前記第1の保持手段に保持された第1の対象物と重ならない第2の位置に、前記第2の保持手段を移動させる移動機構と、 前記第1の保持手段に保持された第1の対象物の第1のマークの、前記第1の面に平行な方向に関する位置を測定すると共に、前記第2の保持手段が前記第1の位置にあるときに、該第2の保持手段に保持された第2の対象物の第2の面上の第2のマークの、該第2の面に平行な方向に関する位置を測定する第1の測定装置と、 前記第2の保持手段が前記第2の位置にあるときに、該第2の保持手段に保持された第2の対象物の第2の面に平行な方向、及び垂直な方向に関して、前記第2のマークの位置を測定する第2の測定装置と、 前記第1の保持手段に保持された第1の対象物及び前記第2の保持手段に保持された第2の対象物の一方を他方に対して変位させる微調機構とを有する位置合わせ装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68 ,  G01B 11/00
FI (6件)：
H01L 21/30 510 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/30 531 J ,  H01L 21/30 541 K ,  G01B 11/00 H
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (14件)
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