特許

J-GLOBAL ID：201103078995859397

大面積ロールツーロール・インプリント・リソグラフィ

発明者： スリニーヴァッサン,シトルガタ・ヴイ ,  シンガル,シュラワン ,  チョイ,ビュン-ジン ,  マックマッキン,イアン・エム
出願人/特許権者： モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド ,  ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-502956
公開番号（公開出願番号）：特表2011-520641
出願日： 2009年04月01日
公開日（公表日）： 2011年07月21日
要約：

膜シートの上に重合可能材料の小滴をパターン化することができる。膜シートの上に重合可能材料の小滴を分与することができる。膜シート上の重合可能材料の小滴の局部トラッピングが最小化され、かつ、小滴が合体して連続層が形成されるよう、インプリント・リソグラフィ・テンプレートに所定の力を印加することができる。重合可能材料を凝固させて、残留層および少なくとも1つのフィーチャを有するパターン化された層を形成することができる。

請求項（抜粋）：

膜シートの上に重合可能材料をパターニングするための方法であって、 前記膜シートの上に重合可能材料の複数の小滴を分与するステップと、 第1のインプリント・リソグラフィ・テンプレートと前記膜シート上の重合可能材料の前記小滴が接触するよう、前記第1のインプリント・リソグラフィ・テンプレートに力を印加するステップであって、前記力が、前記第1のインプリント・リソグラフィ・テンプレートと接触している間に小滴が合体して連続層が形成されるよう、前記膜シート上の前記重合可能材料の前記小滴の局部トラッピングを最小化するように予め決定されている、力を印加するステップと、 残留層および少なくとも1つのフィーチャを有するパターン化された層を形成するために前記重合可能材料を凝固させるステップと を含む方法。

IPC (6件)：

B29C 59/02 ,  B05D 3/12 ,  B05D 1/28 ,  B05D 7/00 ,  B05D 7/24 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

B29C59/02 Z ,  B05D3/12 C ,  B05D1/28 ,  B05D7/00 A ,  B05D7/24 301Z ,  H01L21/30 502D

Fターム (32件)：

4D075AC07 ,  4D075AC44 ,  4D075BB06Z ,  4D075BB42Z ,  4D075CB38 ,  4D075DA04 ,  4D075DB07 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB31 ,  4D075DC19 ,  4D075DC24 ,  4D075EA19 ,  4D075EA21 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG03 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AR02 ,  4F209AR04 ,  4F209AR14 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PG05 ,  4F209PH27 ,  4F209PJ06 ,  4F209PJ26 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PN13 ,  5F046AA28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 微細パターンシート作成装置および微細パターンシート作成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-377910   出願人：東芝機械株式会社
• 室温かつ低圧マイクロおよびナノ転写リソグラフィのためのテンプレート
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-566722   出願人：ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム
• 分離可能な独立駆動型モジュールを有するインプリンティング装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-554017   出願人：コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・メタルズ