合成石英ガラス製造における形状ゆがみ発生の予測方法及び合成石英ガラスの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小島隆司 , 西川裕子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-122401
公開番号（公開出願番号）：特開2000-313626
特許番号：特許第4114027号
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】合成石英ガラスの製造に際して、合成石英ガラスインゴットの成長部の表面温度分布を測定し、この測定結果をヒストグラム化して、そのヒストグラムにおいて最頻度数を示す温度を中心温度とし、この中心温度から±25°Cの部分が全体に対して20〜35%の割合である場合にインゴット成長部での形状ゆがみの発生がないと判定することを特徴とするインゴット成長部での形状ゆがみ発生の有無を予測する方法。

IPC (3件)：