特許

J-GLOBAL ID：201103079338767101

弾性表面波素子

発明者： 岩本 修 ,  両角 浩一 ,  三井 雄治
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-577768
特許番号：特許第3800959号
出願日： 1999年10月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧電体で構成された基板と、該基板上に設けられた電極とを有し、前記電極への導通により発振する弾性表面波素子であって、 前記電極は、結晶粒界が双晶粒界である多結晶のアルミニウムの層で構成されていることを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ( 200 6.01) ,  H03H 9/25 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 9/25 C

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 弾性表面波素子とその製造方法および弾性表面波素子用基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-184979   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 弾性表面波素子電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-284729   出願人：株式会社日立製作所
• 弾性表面波装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-203567   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭61-073409