特許
J-GLOBAL ID：201103079362602393
駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
江上 達夫
, 中村 聡延
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-156577
公開番号（公開出願番号）：特開2011-203764
出願日： 2011年07月15日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：
【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる。【手段】駆動装置(100)は、ベース部(110)と、回転可能な被駆動部(130)と、弾性部(120)と、被駆動部及び弾性部により定まる共振周波数で被駆動部が一の方向(Y軸)に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部を回転させるための微振動をベース部に加える印加部(140)とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ベース部と、
回転可能な被駆動部と、
前記ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する弾性部と、
前記被駆動部及び前記弾性部により定まる共振周波数で前記被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように前記被駆動部を回転させるための微振動を前記ベース部に加える印加部と
を備えることを特徴とする駆動装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H045AB02
, 2H045AB03
, 2H045AB13
, 2H045AB38
, 2H045AB81
