特許
J-GLOBAL ID：201103080695139389
パターンデータ密度検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 詔男 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-234788
公開番号（公開出願番号）：特開2001-060212
特許番号：特許第3341730号
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 所定の面積の検出範囲をオーバーラップするように所定の距離ずらす毎に、この検出範囲内の配線のパターンデータの合計面積の、前記所定の面積における比を示すパターンデータ密度を求め、前記パターンデータ密度が予め設定されたしきい値以上となった前記検出範囲を仮エラー領域とするパターンデータ密度計算処理手段と、前記仮エラー領域を重ね合わせて、オーバーラップした前記仮エラー領域の論理和をとり、集合仮エラー領域を求めるエラー重なり除去処理手段と、予め設定されたエラー判定基準形状が含まれる形状の前記仮集合仮エラー領域を、パターンデータ密度エラー領域として検出するエラー領域幅計算処理手段とを具備することを特徴とするパターンデータ密度検査装置。
IPC (2件)：
G06F 17/50 666
, H01L 21/82
G06F 17/50 666 S
, G06F 17/50 666 Z
, H01L 21/82 C
