特許

J-GLOBAL ID：201103081256087492

研磨パッド用コンディショナーおよびその製造方法

発明者： ミョン ボムヨン ,  ユ スナム
出願人/特許権者： フナテック カンパニー リミテッド
代理人 (3件)： 杉村 興作 ,  藤谷 史朗 ,  来間 清志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-529909
特許番号：特許第3829092号
出願日： 2000年10月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 少なくとも一方の表面にほぼ等しい高さで突出した多数の円錐台または四角錐台を配置した基板と、 前記基板の前記表面全体に実質的に均一な厚さでコーティングしたダイヤモンド層とを具備し、 前記円錐台または四角錐台の上部面に、互いに直交する直径方向に、または対角線の方向に横切る一対のU字形またはV字形の細溝をさらに形成したことを特徴とする研磨パッド用コンディショナー。

IPC (2件)：

B24B 53/12 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B24B 53/12 Z ,  H01L 21/304 621 D ,  H01L 21/304 622 F ,  H01L 21/304 622 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ドレッサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-144727   出願人：旭ダイヤモンド工業株式会社
• ドレッシング用治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-290911   出願人：京セラ株式会社
• コンディショナ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-098160   出願人：旭ダイヤモンド工業株式会社
• パッドコンディショナー及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-127330   出願人：日本電信電話株式会社