セラミックヒータの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：木下茂 , 高雄次郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-105879
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299180
特許番号：特許第3646914号
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】液相焼結による窒化アルミニウム焼結体からなる基板の片面に発熱回路用金属ペーストを塗布して乾燥すると共に、その片面の残余部分に低温焼結助剤を添加したカバー用窒化アルミニウムペーストを金属ペーストと同等の厚みで塗布して乾燥した後、それらの上に上記窒化アルミニウムペーストと同様のペーストを塗布して乾燥し、しかる後に、1500〜1800°Cの温度で焼成することを特徴とするセラミックヒータの製造方法。

IPC (2件)：