圧電性単結晶ウエーハ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306404
公開番号（公開出願番号）：特開2001-130997
特許番号：特許第3866887号
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧電性単結晶ウエーハの製造方法であって、少なくとも、圧電性単結晶をスライスしてウエーハを切り出す工程と、該切り出したウエーハに面取り加工を施す工程と、その後、該面取り加工を施したウエーハをラッピングする工程とを有し、前記面取り加工を施す工程において、弾性表面波又は擬似弾性表面波を送受信するための電極が形成されるウエーハ表面及びその裏面を除く外周面の表面粗さRaを、2.3μm以下とすることを特徴とする圧電性単結晶ウエーハの製造方法。

IPC (3件)：