特許
J-GLOBAL ID:201103084409171667
金属材料の片面めっき方法及び装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-373879
公開番号(公開出願番号):特開2001-192888
特許番号:特許第3419370号
出願日: 1999年12月28日
公開日(公表日): 2001年07月17日
請求項(抜粋):
【請求項1】 金属材料の側面を挟持する一対の側面板と、前記側面板に設けたシール材と、前記シール材間に挟持した金属材料の一方の面にめっき液を噴射する噴射ノズルを備え、前記一対の側面板の間に、前記側面板を内側方向に引張力を与えるスプリングを備えたことを特徴とする金属材料の片面めっき装置。
IPC (3件):
C25D 5/02
, C25D 7/12
, H01L 23/50
FI (4件):
C25D 5/02 C
, C25D 5/02 H
, C25D 7/12
, H01L 23/50 D
引用特許:
出願人引用 (5件)
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ウエーハ用めっき装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-152985
出願人:日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社
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半導体装置の製造方法及び鍍金装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-184432
出願人:富士通株式会社, 富士通カンタムデバイス株式会社
-
特開平3-183795
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審査官引用 (5件)
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ウエーハ用めっき装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-152985
出願人:日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社
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半導体装置の製造方法及び鍍金装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-184432
出願人:富士通株式会社, 富士通カンタムデバイス株式会社
-
特開平3-183795
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