特許
J-GLOBAL ID:201103085139061461

自動調芯押付け装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 林 宏 ,  後藤 正彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-334418
公開番号(公開出願番号):特開2002-141361
特許番号:特許第4547652号
出願日: 2000年11月01日
公開日(公表日): 2002年05月17日
請求項(抜粋):
【請求項1】自動機器に取り付けるための装置本体;該装置本体に取り付けられて先端に部分凹球面状の軸受面を有するエア軸受;該エア軸受の軸受面と同じ曲率を持つ部分凸球面状の被軸受面と、ワーク用押付けヘッドを取り付けるためのヘッド取付面とを有していて、被軸受面を軸受面に嵌合させた状態で前記エア軸受に支持されている調芯部材;前記エア軸受の軸受面に圧縮空気を供給して前記調芯部材をエア軸受からフローティングさせるためのエア供給用流路;前記調芯部材をエア軸受の軸受面に圧接させてロックするためのロック機構;前記ロック機構を駆動するためのシリンダ駆動部;を有し、 前記ロック機構が、前記エア軸受及び調芯部材を軸受面及び被軸受面の中心部の位置で遊挿状態に貫通し、前記シリンダ駆動部により前後進されるピストンロッドと、このピストンロッドの先端に形成されたフランジ状の係止部と、前記調芯部材に形成されてこの係止部が嵌合する窪みと、これらの係止部と窪みとに形成されてロック時に相互に当接し合う部分球面状の当り面とを有し、これらの当たり面が上記被軸受面と同心に形成されていることを特徴とする自動調芯押付け装置。
IPC (2件):
H01L 21/60 ( 200 6.01) ,  F16C 32/06 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/60 311 T ,  F16C 32/06 Z
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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