特許
J-GLOBAL ID：201103085686414549
光記録媒体作製用スパッタ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154712
公開番号（公開出願番号）：特開2000-345331
特許番号：特許第3804899号
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ディスク基板に成膜して光情報記録媒体を作製する光記録媒体作製用スパッタ装置において、
ディスク基板を保持する基板ホルダは固定部と可動部を有し、可動部は保持するディスク基板と接触する一定面積の接触面を有し、固定部の嵌合穴に沿って保持するディスク基板のディスク面に対して直交する方向に移動し、ディスク基板に成膜するときは可動部の接触面をディスク基板の裏面に接触させてディスク基板の情報記録領域全面を固定部の接触面と可動部の接触面で密着保持し、ディスク基板を着脱するときは可動部の接触面を固定部の嵌合穴に沿って移動しディスク基板の裏面から離すことを特徴とする光情報記録媒体作製用スパッタ装置。
IPC (2件)：
C23C 14/34 ( 200 6.01)
, G11B 7/26 ( 200 6.01)
C23C 14/34 J
, G11B 7/26 531
