研磨用キャリア

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170826
公開番号（公開出願番号）：特開2001-001257
特許番号：特許第3587505号
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被研磨部材を挿入する収容孔を有し、外周面に設けられた歯車が研磨装置の太陽ギアおよびインターナルギアに噛合して遊星運動を行い、前記収容孔内の被研磨部材を研磨する研磨用キャリアにおいて、研磨用キャリアは、リング状に形成され、外周面に設けられた歯車が前記太陽ギアおよびインターナルギアに噛合すると共に、内周面に内歯車が設けられたリングギアと、前記リングギアと同心に配設された中央ギアと、前記中央ギアおよび前記リングギアの内歯車と噛合し、被研磨部材を挿入する収容孔が設られた被研磨部材収容ギアと、により構成されていることを特徴とする研磨用キャリア。

IPC (2件)：