金属酸化物薄膜及びその形成方法

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出願人/特許権者： ,
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-291395
公開番号（公開出願番号）：特開2002-097577
特許番号：特許第3449617号
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】金属塩及び飽和有機化合物溶媒を含む溶液から調製された金属酸化物オリゴマー-飽和有機化合物溶媒錯体含有溶液を、基体上に付着させ、ついで前記付着溶液中の飽和有機化合物溶媒の40〜80%を除去させた後、さらに熱処理させることにより、基体上に金属酸化物薄膜を形成させることを特徴とする金属酸化物薄膜の形成方法。

IPC (1件)：